对芯碁微装召募资金投资项目金额调解事项举办了核查，芯碁微装回收向计谋投资者定向配售、网下向切合条件的投资者询价配售和网上向持有上海市场非限售A股股份和非限售存托凭证市值的社会公家投资者订价刊行相团结的方法，为保障召募资金投资项目标顺利实施。

为保障募投项目顺利实施而做出调解，983，020.2448万股，770.0020，审验功效如下:停止2021年3月29日止，切合中国证券监视打点委员会、上海证券生意业务所关于上市公司召募资金打点的有关划定，三牛注册开户，155，切合《上市公司禁锢指引第2号——上市公司召募资金打点和利用的禁锢要求》《上海证券生意业务所科创板上市公司自律禁锢法则合用指引第1号——类型运作》以及公司召募资金打点制度等有关划定，该事项切合有关法令、礼貌和《公司章程》等类型性文件的划定，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司召募资金投资项目金额调解的核査意见》之签字盖印页) 保荐代表人签名:__________________________________ 于军杰林剑辉 海通证券股份有限公司 年代日 查察通告原文 ， 容诚管帐师事务所(非凡普通合资)对公司本次果真刊行新股的资金到位环境举办了审验，341.0041，195.95元，747.95元，341.00万元，不会对召募资金的正常利用造成实质性影响，实际召募资金净额为人民币416，刊行价值为每股人民币15.23元，195.95元，三牛注册开户，召募资金总额人民币459，且推行了须要的审批措施，本次调解有利于提高召募资金利用效 率，770.00 设备进级迭代项目0 2晶圆级封装(WLP)直写光刻设9， 二、召募资金投资项目金额的调解环境 由于本次果真刊行实际召募资金净额416，实际召募资金净额不能满意以上召募资金投资项目标资金需求，625，公司本次募投项目金额调解事项不存在变相改变召募资金利用用途的景象，公司董事会抉择调解首次果真刊行股票召募资金投资项目标召募资金投入金额，提高资金利用效率， (以下无正文)(本页无正文，836.010，不存在变相改变召募资金用途和损害股东好处的环境，社会公家股东均以钱币出资，358，448.00元，358，不存在变相改变召募资金用途和损害投资者好处的景象，358，按照实际召募资金净额，召募资金净额为416，扣除刊行用度(包罗保荐费、承销费、审计及验资费、状师费、信息披露费、刊行手续费等)合计人民币43，则不敷部门公司将用自筹资金补足，果真刊行人民币普通股股票3， (一)董事会心见 公司本次实际召募资金净额为416，635.82 0 公司对募投项目召募资金投资金额分派调解后，358，增加成本公积人民币386，三牛注册开户，董事会同意对募投项目召募资金详细投资金额举办相应调解，同意对原召募资金投资项目标投资金额举办调解。

综上，该调解事项推行了须要的措施。

本次刊行召募资金总额459，公司召开第一届董事会第十次集会会议和第一届监事会第六次集会会议，按照《证券刊行上市保荐业务打点步伐》、《上市公司禁锢指引第2号——上市公司召募资金打点和利用的禁锢要求》、《上海证券生意业务所上市公司召募资金打点步伐》及《上海证券生意业务所上市公司一连督导事情指引》等有关划定，公司向社会公家果真刊行人民币普通股(A股)股票3。

341.00万元，不存在变相改变召募资金用途和损害股东好处的景象。

团结各召募资金投资项目标环境，630.82 项目0 4微纳制造技能研发中心建树项目6， 每股面值1元，公司拟对各募投项目利用召募资金金额举办调解，详细环境如下: 一、召募资金根基环境 公司首次果真刊行股票并在科创板上市的注册申请于2021年2月1日经中国证券监视打点委员会(以下简称“中国证监会”)同意注册(证监许可〔2021〕350号《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次果真刊行股票注册的批 复》)，其客观原因在于实际召募资金净额少于拟投入的召募资金金额，341.047，因此同意调解公司募投项目金额，切合《上市公司禁锢指引第2号——上市公司召募资金打点和利用的禁锢要求》《上海证券生意业务所科创板上市公司自律禁锢法则合用指引第1号——类型运作》以及公司召募资金打点制度等有关划定，按照实际召募资金净额，202， (三)独立董事意见 独立董事认为:公司本次实际召募资金净额为416，少于拟投入的召募资金金额47，个中增加注册成本、实收成本(股本)人民币30，836.008，087.09元(不含增值税)后。

380.005，并于2021年3月30日出具了容诚验字[2021]230Z0034号《验资陈诉》，355.006，770.020，283.04元，监事会同意对募投 项目召募资金详细投资金额举办相应调解，355.006， 三、推行审议措施及专项意见 2021年4月6日，195.95元，983，每股刊行价值为人民币15.23元。

本次调解有利于保障募投项目顺利实施， 按照公司第一届董事会第十次集会会议和第一届监事会第六次集会会议审议通过的《关于调解部门召募资金投资项目拟投入召募资金金额的议案》，不影响召募资金投资打算的正常举办，海通证券对芯碁微装调解部门召募资金投资项目拟投入召募资金金额事项无异议，少于拟投入的召募资金金额47，380.009， 海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 召募资金投资项目金额调解的核査意见 海通证券股份有限公司(以下简称“海通证券”或“保荐机构”)作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称“芯碁微装”或“公司”)首次果真刊行股票并在科创板上市及一连督导的保荐机构。

283.04元;扣除刊行用度后，358。

四、保荐机构核查意见 公司本次召募资金投资项目金额调解事项已经第一届董事会第十次集会会议和第一届监事会第六次集会会议审议通过。

020.2448万股，195.95元，少于拟投入的召募资金金额47，别离审议通过了《关于调解部门召募资金投资项目拟投入召募资金金额的议案》。

不存在损害公司和股东好处的景象，调解后召募资金投资金额分派如下: 单元:人民币万元 序项目名称项目投调解前拟投入募调解后拟投入募 号资总额集资金金额集资金金额 1高端PCB激光直接成像(LDI)20， 本次对募投项目召募资金投资金额调解系公司基于实际策划需要，针对实际召募资金净额小于打算召募资金净额的环境，341.00万元，880.00 备财富化项目 3平板显示(FPD)光刻设备研发10。

团结公司实际环境。

公司独立董事亦颁发了明晰的同意意见，。

提高召募资金的利用效率。

355.00 合计47， (二)监事会心见 监事会认为:公司本次对募投项目金额的调解，独立董事颁发了明晰同意的独立意见，195.95元。